Unity

Unity

 

TE8500

TE8500

 

TE5000

TE5000

Ox

TE4000

TE4000

Sin

TE680

TE680

仕様

メーカー:東京エレクトロン株式会社

ウェハーサイズ:4インチ〜6インチ

被エッチング膜:Metal

TE580

TE580

仕様

メーカー:東京エレクトロン株式会社

ウェハーサイズ:4インチ〜6インチ

被エッチング膜:Ox