service

サービス紹介

当社は、半導体製造装置の運転・運用技術を
広義に進展させることを目的として設立しました。
半導体製造装置、主にエッチャー装置の保守・サポートを行っています。

主なサービス内容

  • エッチング装置の修理・調整・保守業務全般
  • エッチング装置の移設・立上げ・改造・オーバーホール作業業務
  • エッチング装置及び部品・冶具販売

対応装置(主にエッチャー装置)

  • TE480HG、TE580LC、TE680ATS
  • TE4000、TE5000
  • TE8500
  • Unity
  • Telius、Tactras 他300mm装置
    TEL請負にてキオクシア(旧 東芝メモリ四日市)様他 対応中
対応装置(主にエッチャー装置)
TE480HG、TE580LC、TE680ATS
TE4000、TE5000
TE8500
Unity
Telius、Tactras 他300mm装置
TEL請負にてキオクシア(旧 東芝メモリ四日市)様他 対応中