service

サービス紹介

当社は、半導体製造装置の運転・運用技術を
広義に進展させることを目的として設立しました。
半導体製造装置、主にエッチャー装置の保守・サポートを行っています。

主なサービス内容

エッチング装置の
修理・調整・保守業務全般

現地修理や部品の引取修理などご要望に応じて対応いたします。
また、駐在での保守業務全般を請け負うことも可能です。
期間に関しては都度相談ください。

エッチング装置の
移設・立上げ・改造・
オーバーホール作業業務

旧型装置の制御系改造による機能向上・延命化、表示機能等廉価版改造修理など承ります。
状況に応じて、お客様工場内でのOH作業を行う事も可能です。

エッチング装置及び
部品・冶具販売

中古装置を販売/部品取り用として、数台保持しています。
また、新品、中古品の部品や治具を在庫しています。
お気軽に問合せください。

対応装置(主にエッチャー装置)

  • TE480HG、TE580LC、TE680ATS
  • TE4000、TE5000
  • TE8500
  • Unity
  • Telius、Tactras 他300mm装置
    TEL請負にてキオクシア(旧 東芝メモリ四日市)様他 対応中
対応装置(主にエッチャー装置)
TE480HG、TE580LC、TE680ATS
TE4000、TE5000
TE8500
Unity
Telius、Tactras 他300mm装置
TEL請負にてキオクシア(旧 東芝メモリ四日市)様他 対応中