当社は、半導体製造装置の運転・運用技術を
広義に進展させることを目的として設立しました。
半導体製造装置、主にエッチャー装置の保守・サポートを行っています。
主なサービス内容
- エッチング装置の修理・調整・保守業務全般
- エッチング装置の移設・立上げ・改造・オーバーホール作業業務
- エッチング装置及び部品・冶具販売
対応装置（主にエッチャー装置）
- TE480HG、TE580LC、TE680ATS
- TE4000、TE5000
- TE8500
- Unity
- Telius、Tactras 他300mm装置
TEL請負にてキオクシア（旧 東芝メモリ四日市）様他 対応中
| 対応装置（主にエッチャー装置） |
|---|
| TE480HG、TE580LC、TE680ATS |
| TE4000、TE5000 |
| TE8500 |
| Unity |
| Telius、Tactras 他300mm装置 TEL請負にてキオクシア（旧 東芝メモリ四日市）様他 対応中 |